CVD装置の入門書でよい本があればご紹介くださいについて

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Q11. CVD装置の入門書でよい本があればご紹介ください。

現在、FPD(薄型フラットディスプレイ)用のPE-CVD(プラズマ励起CVD)装置を担当しております。
最近はCVDの成膜条件レシピの作成検討なども業務になっております。
CVDのガスやプラズマ条件などによる膜厚分布や膜質の違いなどの知見を得たく、CVD装置の入門書を探しております。何かよい本があれば紹介していただけないでしょうか。

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ディスプレイ関係メーカー就業中の方より


A11.ご相談にお答えします。

前職では、半導体製造装置メーカーにて、サービスエンジニアとして13年間この分野に携わっておりました。
まず、ご存知のようにCVD(Chemical Vapor Deposition)は化学気相成長とか化学蒸着と呼ばれている薄膜を形成する蒸着法のひとつです。半導体はもちろんのこと、液晶ディスプレイの生産工程などで多用されている技術です。
私は装置のハード廻りとCVDのプロセスについては、デバイス工場での装置立ち上げに絡み実務経験があります。
このような経験を踏まえてご相談にお答えさせていただきます。
FPDのCVDと半導体のCVDとは、幾分かの違いがあると思いますが、基本は同じです。
ご相談の内容から想像しますと、プロセスエンジニアの業務をおこなっているように思えますので、まずは真空に関する知識、プラズマに関する知識、装置に関する知識を半導体をベースに勉強(本を読んで)して、スキルアップを目指してはいかがでしょう。
それには、
1)『はじめての半導体装置』 作者:前田和夫著 工業調査会
でCVD装置の項を勉強するのがよいかと思います。

つぎにプロセスの知識を身につけるとよいと思います。
2)『はじめての半導体プロセス』 作者:前田和夫著 工業調査会

それから、やや専門的な知識になりますが、
3)『プラズマと成膜の基礎』 作者:工博 小林春洋 日刊工業新聞社

さらに専門的な知識として次の本がよいと思います。
4)『光、プラズマ、プロセッシング』 作者:工博 明石和夫 その他 日刊工業新聞社
本を読むだけでスキルを身につけることは大変ですが、継続して勉強し実践の中で確認できることはしていってください。できるだけ知識と実践とを組み合わせて学習すると本物のスキルになっていくと思います。
今後もご活躍を応援させていただきます。


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